技术摘要：
一种非接触支撑系统，包括具有端口层的工作台，该端口层具有散布的压力端口和真空端口的图案。压力管道层包括可连接到压力源的压力管道的网格图案，每个压力端口位于穿过至少两个压力管道的交点并且基本上正交于压力管道的网格图案的轴线上。真空管道层包括可连接到抽  全部
背景技术：
许多行业需要处理薄且柔性的工件。例如，平板显示器行业需要处理大片的薄玻 璃板，例如，具有数十厘米至数米的横向尺寸(长度和宽度)和小于一毫米的厚度。在许多情 况下，工件与表面或物体的任何不必要的物理接触，例如工件处理所不需要的接触，都可能 存在划伤或以其他方式损坏或损伤工件的风险。 通常的解决方案是在非接触支撑平台上支撑工件。非接触支撑平台通常包括台 面，该台面构造为在台面上方形成气垫。例如，台面可包括压力端口的分布，将空气从该压 力端口中推出到台面上方。在许多情况下，被施加吸力的真空端口散布在压力端口之间。 当工件是刚性的时，工件的局部弯曲可以忽略不计。在这种情况下，如果由非接触 支撑平台形成的气垫足够厚，则可将工件支撑在离台面均匀的距离处，并且可能不存在工 件和台面之间接触的风险。 然而，如果工件是柔性的，并且如果由所形成的气垫施加的力在工件下方不均匀， 则由气垫支撑的工件可能弯曲或凹陷。例如，在一些情况下，凹坑可在工件上形成“蛋坑 (egg  crate)”图案。在这种情况下，工件的一部分可能朝向台面弯曲或下垂，从而有工件与 台面之间接触的风险。另外，工件的非均匀支撑可能不利地影响在工件上执行的制造或检 查过程。
技术实现要素：
因此，根据本发明的一个实施方式，提供了一种具有工作台的非接触支撑系统，包 括：端口层，其包括散布的压力端口和真空端口的图案；压力管道层，其包括压力管道的网 格图案，该压力管道可连接到压力源，每个压力端口位于轴线上的一位置处，该轴线穿过至 少两个压力管道的交点并且基本上正交于在该位置处的压力管道的网格图案；以及真空管 道层，其包括真空管道的网格图案，真空管道可连接到抽吸源，每个真空端口位于轴线上的 一位置处，该轴线穿过至少两个真空管道的交点并且基本上正交于在该位置处的真空管道 的网格图案，真空管道的网格图案从压力管道的网格图案横向偏移，使得压力管道的每个 交点从真空管道的所有交点横向偏移。 此外，根据本发明的一个实施方式，压力管道层和真空管道层各自包括检修孔，该 检修孔构造为使得当压力管道层的检修孔与真空管道层的检修孔对准时能够插入紧固件 或传感器，每个检修孔从所有的压力管道和真空管道横向移位。 此外，根据本发明的一个实施方式，检修孔定位成使得检修孔与最近的管道之间 的横向距离大于最小距离。 此外，根据本发明的一个实施方式，网格图案是正方形图案，并且其中，检修孔横 4 CN 111556848 A 说　明　书 2/11 页 向地定位于压力端口与最近的真空端口之间的中间位置。 此外，根据本发明的一个实施方式，压力管道层和真空管道层中的每者的网格图 案是正方形图案，其中在由压力管道之间的两个交点和真空管道之间的两个交点界定的正 方形区域中移除一段压力管道和正交的真空管道。 此外，根据本发明的一个实施方式，检修孔位于正方形区域中。 此外，根据本发明的一个实施方式，压力管道层包括通向压力歧管的开口，或者真 空管道层包括通向真空歧管的开口。 此外，根据本发明的一个实施方式，非接触支撑系统包括至少一个限流器层，该限 流器层包括限流器，以限制压力管道层和端口层的压力端口之间的气流。 此外，根据本发明的一个实施方式，非接触支撑系统包括至少一个限流器层，该限 流器层包括限流器，以限制真空管道层和端口层上的真空端口之间的气流。 此外，根据本发明的一个实施方式，非接触支撑系统包括用于插入端口层的端口 的插入件，该插入件包括限流器。 此外，根据本发明的一个实施方式，限流器包括自适应分段孔口(SASO)限流器。 此外，根据本发明的一个实施方式，限流器包括由较窄的限制段分开的多个孔段 的线性布置。 此外，根据本发明的一个实施方式，限流器包括沿着其长度具有恒定直径的限制 管。 此外，根据本发明的一个实施方式，限流器包括限制管，该限制管包括一个或多个 收缩段。 此外，根据本发明的一个实施方式，限流器包括多孔物质。 此外，根据本发明的一个实施方式，压力管道层或真空管道层中的管道之间的交 点处的拐角是圆形的。 根据本发明的一个实施方式，还提供了一种用于组装非接触支撑系统的方法，该 方法包括：将压力管道层组装到包括散布的压力端口和真空端口的图案的端口层，使得每 个压力端口通向至少两个压力管道的交点，该压力管道层包括可连接到压力源的压力管道 的网格图案；以及将真空管道层组装到端口层和压力管道层，使得每个真空端口通向至少 两个真空管道的交点，该真空管道层包括可连接到抽吸源的真空管道的网格图案，真空管 道的网格图案从压力管道的网格图案横向偏移，使得压力管道的每个交点从真空管道的所 有交点横向偏移。 此外，根据本发明的一个实施方式，将真空管道层组装到压力管道层包括将压力 管道层上的检修孔与真空管道层上的检修孔对准，检修孔从所有压力端口和所有真空端口 横向移位。 此外，根据本发明的一个实施方式，该方法包括将紧固结构插入穿过检修孔并插 入到端口层的孔或插口中，该孔或插口与压力管道层和真空管道层上的检修孔对准。 此外，根据本发明的一个实施方式，该方法包括至少在压力管道层与端口层之间 插入限流器层。 5 CN 111556848 A 说　明　书 3/11 页 附图说明 为了更好地理解本发明并理解其实际应用，提供以下附图并在此后参考。应注意， 这些附图仅作为实例给出，而不以任何方式限制本发明的范围。相同的部件由相同的附图 标记表示。 图1A示意性地示出了根据本发明的一个实施方式的非接触支撑平台的压力管道 和真空管道的分层布置。 图1B示意性地示出了图1A所示的非接触支撑平台的分层布置的压力管道层。 图1C示意性地示出了图1A所示的非接触支撑平台的分层布置的真空管道层。 图2示意性地示出了图1A所示的分层布置上的检修孔。 图3示意性地示出了与介于图2所示的检修孔和最近的管道之间的距离的计算相 关的尺寸。 图4A示意性地示出了在图1A所示的分层布置的压力管道和真空管道之间的交叉 处的检修孔的位置。 图4B示意性地示出了在去除交叉管道之后的图4A所示的检修孔。 图5A示意性地示出了包含图1A所示的分层布置的非接触支撑平台工作台。 图5B示意性地示出了图5A所示的非接触支撑平台工作台的层。 图6A是图5B所示的非接触支撑平台工作台的台面端口层的示意性顶视图。 图6B示意性地示出了图5B所示的非接触支撑平台工作台的部件孔口层。 图6C示意性地示出了图5B所示的非接触支撑平台工作台的真空管道层。 图6D示意性地示出了图5B所示的非接触支撑平台工作台的真空管道层。 图7示意性地示出了图5B所示的具有多个孔口层的非接触支撑平台工作台的变 型。 图8示意性地示出了图5B所示的非接触支撑平台工作台的变型，其中限流器包含 在插入件中。 图9A示意性地示出了包含自适应分段孔口(SASO)限流器的限流器插入件。 图9B示意性地示出了包含分段孔口限流器的限流器插入件。 图9C示意性地示出了包含管状限流器的限流器插入件。 图9D示意性地示出了包含多孔限流器的限流器插入件。 图10示意性地示出了具有圆角的管道层的一部分。