技术摘要：
本公开的一个实施方案的氟化液体再生方法包括以下步骤：使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于80质量％；以及将在所述水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于所述上层的水相和位于下层的氟化液体，然后去除所述上层的液体并收  全部
背景技术：
例如，制造有机EL显示器(下文有时称为“OLED”)的方法包括通过金属掩模在诸如 玻璃的基板上气相沉积RGB三色颜料以形成有机发光层的步骤。由于金属掩模是昂贵的构 件，该金属掩模通过用N-甲基-2-吡咯烷酮(下文有时称为“NMP”)溶液洗涤、然后用氟化液 体漂洗的步骤以及干燥步骤而被重复使用。 专利文献1(JP  2006-313753  A)描述了一种洗涤方法，其中用于制造低分子量有 机EL元件的真空气相沉积步骤中使用的金属掩模通过用包含非质子极性溶剂诸如N-甲基- 2-吡咯烷酮的洗涤液体组合物浸渍或水射流进行洗涤，然后用氢氟醚漂洗。 专利文献2(JP  07-076787  A)描述了一种金属洗涤剂再生设备，其包括：使用NMP 作为金属洗涤剂的洗涤设备、以及被构造成从在洗涤之后获得的NMP洗涤液体中去除污染 物并使NMP洗涤液体再循环至洗涤设备的再生设备；其中设置在再生设备内的过滤介质是 包含至少聚丙烯的颗粒状过滤介质并且在NMP中是浮动的。 专利文献3(JP  2008-163400  A)描述了一种洗涤系统，其包括：被构造成容纳洗涤 液体的洗涤罐，该洗涤液体包含选自(1a)烃、(1b)乙二醇醚和(1c)酯中的一种或多种类型 作为主要组分，待洗涤的制品被浸入其中；漂洗液体罐，该漂洗液体罐被构造以容纳漂洗液 体，该漂洗液体包含选自(2a)氢氟烃和(2b)氢氟醚中的一类或多类作为主要组分，待洗涤 的制品被浸入漂洗液体中；蒸汽罐，该蒸汽罐被构造以容纳漂洗液体并产生该漂洗液体的 蒸汽；以及包括蒸馏器的再生单元。 现有技术的文献 专利文献1：JP  2006-313753  A 专利文献2：JP  07-076787  A 专利文献3：JP  2008-163400  A
技术实现要素：
随着金属掩模被洗涤和漂洗的次数增加，漂洗罐中的洗涤剂污染的比率增加。因 此，漂洗罐最终被洗涤剂污染，因此需要定期更换漂洗液体。然而，由于用作漂洗液体的氟 化液体也是昂贵的溶剂，因此通常通过使用蒸馏装置从受污染的漂洗液体中回收氟化液 体，然后再次使用。然而，在本领域的现状下，由于可通过此类蒸馏装置回收的氟化液体的 量极低，因此大部分氟化液体被丢弃。 本公开提供了具有针对被洗涤剂污染的氟化液体的优异再生效率的氟化液体再 生方法、以及使用此类方法的再生设备。 用于解决问题的方法 根据本公开的一个实施方案，提供了一种氟化液体再生方法，该方法包括以下步 3 CN 111601873 A 说　明　书 2/13 页 骤：使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于约80 质量％；以及将在水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于上层的水相和位于下层 的氟化液体，然后去除上层的液体并收集下层的液体；其中所述洗涤剂为溶解在所述氟化 液体中的非质子极性溶剂，并且所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们的混合物。 根据本公开的另一个实施方案，提供了一种使用通过利用上述再生方法再生的氟 化液体的方法，该氟化液体作为构件的冲洗液体用于有机EL显示器制造设备中。 根据本公开的另一个实施方案，提供了一种氟化液体再生设备，该设备包括：用于 使被洗涤剂污染的氟化液体与水接触，以使位于上层的水相的洗涤剂的浓度小于约80质 量％的装置；以及用于将在水接触后获得的混合液体分离成两份液体：位于上层的水相和 位于下层的氟化液体，然后去除上层的液体并收集下层的液体的装置；其中所述洗涤剂为 溶解在所述氟化液体中的非质子极性溶剂，并且所述氟化液体为氢氟醚、氢氟烯烃或它们 的混合物。 本发明的效果 本公开的氟化液体再生方法和再生设备可改善被洗涤剂污染的氟化液体的再生 效率。 此外，在本公开的若干实施例中，可通过进行充分的分离来消除附加的蒸馏步骤 和加热步骤。在这些实施例中，由于该方法在室温下完成，因此能量效率更高，并且无需额 外的操作。 上文描述不应理解为表明已经公开了本公开的所有实施方案以及与本公开相关 的全部优点。 附图说明 图1为示出在水中的洗涤剂浓度和各种氟化液体中的每一种的输出之间的关系的 曲线图，该氟化液体使用NMP作为洗涤剂并使用根据本公开的实施方案的氟化液体再生方 法。 图2为示出基于仅使用蒸馏的氟化液体再生方法和根据本公开的实施方案的氟化 液体再生方法，在再生后获得的氟化液体的丢弃量的关系的视图。