技术摘要：
本发明公开了一种吊杆及晶圆处理设备，所述吊杆包括用于与吊车连接的第一杆、用于挂取产品的第二杆，和用于连接所述第一杆和所述第二杆的连接组件，所述连接组件包括分置于所述第一杆和所述第二杆的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部分别具有面  全部
背景技术：
在半导体制造业中，大量的刻蚀工艺会用到自动化槽式刻蚀机， 自动化槽式刻蚀 机通过机台内吊车按工艺设定参数将装有晶圆的料盒  依次去放完成整个工艺流程，当吊 车或其他异常时，可导致机台停止  工作，当吊车将盛放有晶圆的料盒放置在刻蚀槽内时吊 车或设备发生  异常，会导致吊车挡住料盒，无法短时间内取出晶圆，会导致晶圆在  药液中 浸泡过久报废。
技术实现要素：
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种吊杆及晶圆处 理设备。 第一方面，本发明公开了一种吊杆，所述吊杆包括用于与吊车连  接的第一杆、用 于挂取产品的第二杆，和用于连接所述第一杆和所述  第二杆的连接组件，所述连接组件包 括分置于所述第一杆和所述第二  杆的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述 第二连接部分  别具有面向对方的配合面； 所述第一连接部和所述第二连接部配置为可拆卸连接，当所述第  一连接部连接 至所述第二连接部时所述第一连接部的配合面抵压至所 述第二连接部的配合面上。 具体的，通过所述连接组件连接所述第一杆和所述第二杆，当晶 圆处理设备在对 晶圆处理发生故障时，通过所述连接组件可将挂取产 品的第二杆及时与第一杆分离，从而 及时将晶圆从药液内取出，避免  了晶圆在药液内浸泡过久而报废。 进一步地，所述第一连接部和所述第二连接部为磁性吸附连接，且  所述第一连接 部和所述第二连接部至少之一为可变磁铁。 具体的，通过磁铁连接所述第一杆和所述第二杆，并将所述第一连  接部和所述第 二连接部至少之一为可变磁铁，可以保证在设备遇到故障  时可快速分离所述第一杆和所 述第二杆，减少晶圆在药液内浸泡的时间， 保证了晶圆的质量。 进一步地，所述第一连接部为可变磁铁，所述第二连接部为所述第  一杆或所述第 二杆由铁磁性材料制成的端部。 具体的，当所述第一杆和第二杆连接均由磁吸附材料制成或两者之  一为磁吸附 材料制成时，通过将第一连接部设置为可变磁铁，可变磁磁  铁即为磁极方向可变或可在有 磁状态和无磁状态转换的磁铁；将可变磁  铁与所述第一杆和第二杆两者之一固接，通过可 变磁铁吸附另一杆从而 实现连接所述第一杆和所述第二杆，当需要分离第二杆时，将所述 第一  磁铁置为无磁状态或将磁极的方向与吊杆的长度方向垂直，从而达到分  离第二杆的 目的。 进一步地，所述第一连接部为可变磁铁，所述第二连接部为由铁磁  性材料制成的 连接件。 3 CN 111599726 A 说　明　书 2/5 页 具体的，当所述第一杆和所述第二杆均为磁铁不能吸附的材料制成 时，可以通过 将由铁磁性材料制成的连接件与所述第一杆或所述第二杆  之一连接，另一杆与可变磁铁 连接，从而达到连接所述第一杆和所述第  二杆的目的，当需要分离所述第一杆或所述第二 杆时，同样将可变磁铁  变磁，达到分离第二杆的目的。 进一步地，所述第一连接部的配合面上设置有第一导向部，所述第  二连接部的配 合面上设置有与所述第一导向部配合的第二导向部。 具体的，通过设置导向部可以使所述第一连接部快速连接至所述第 二连接部上。 进一步地，还包括第一插接件；在垂直于所述吊杆长度的方向上所  述第一连接部 可在所述第二连接部上形成有投影区，所述第一插接件同  时穿过所述第一连接部形成所 述投影区的部分和穿过所述第二连接部与 所述投影区重合的部分 具体的，通过第一插接件将所述第一连接部和所述第二连接部插接  在一起，可避 免所述第一连接部与所述第二连接部意外分离，保证吊杆 的操作安全性。 进一步地，所述第一插接件为插销，所述第一插销的一端设置有拉  环，另一端设 置有防脱件。 具体的，所述第一插接件优选插销，所述第一插销的端部设置有拉  环，通过插销 的设置可在需要分离所述第一杆和所述第二杆时可通过所  述拉环快速取出插销，实现快 速分离的目的，通过设置防脱件可防止所 述第一插销的意外脱落，保证安全。 第二方面，本申请公开了一种晶圆处理装置，所述吊车安装有如  上任一所述的吊 杆。 进一步地，所述设备连接有报警装置。 具体的，通过设置报警装置，在设备故障时可以发出报警信号，  及时提醒操作人 员将晶圆从药液中取出，保证晶圆的质量。 有益效果 本发明公开了一种吊杆及晶圆处理装置，所述吊杆包括用于与吊  车连接的第一 杆、用于挂取产品的第二杆，和用于连接所述第一杆和  所述第二杆的连接组件，所述连接 组件包括分置于所述第一杆和所述  第二杆的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部 和所述第二连接  部分别具有面向对方的配合面；所述第一连接部和所述第二连接部配  置 为可拆卸连接，当所述第一连接部连接至所述第二连接部时所述第  一连接部的配合面抵 压至所述第二连接部的配合面上，当晶圆处理装  置在处理晶圆出现故障时，可通过所述连 接组件快速拆下第二杆，从  而将设置在第二杆上的晶圆及时从药液中取出，避免了晶圆在 药液里  浸泡过久而导致晶圆报废的现象，本发明结构简单，设计合理，具有  较强的实用 性。 附图说明 通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，  本申请的其 它特征、目的和优点将会变得更明显： 图1为本发明的吊杆的结构示意图； 图2为本发明的实施例连接组件的结构示意图； 图3为本发明的实施例连接组件的另一种结构示意图。 4 CN 111599726 A 说　明　书 3/5 页