技术摘要：
本发明具有如下的优点，可通过在开闭流体通道时提供气密来完美地阻隔在流体通道上流动的副产物向阀的内部流入，由此可确保运行的可靠性，可防止阀的内部部件腐蚀，简单的内部结构具有经济性，结构上可通过一个驱动部(气缸)来使叶片进行前进、后退以及上下移动。
背景技术：
通常，真空闸阀为结构上由阀本体开闭流体通道的阀，在工业现场中，主要在半导 体或液晶二极管制造线上设置于腔室与真空泵之间，起到对向腔室传递真空泵的吸入力进 行开闭的作用。 在相关行业中，为了提高对真空闸阀的阀性能起到关键作用的泄漏率、压力范围、 排气及开闭寿命，开发了多种技术。 例如，在韩国授权专利公报第10-0954212号(授权日期：2010年04月14日)中公开 了可顺畅地进行开闭动作的真空闸阀。根据该授权专利，包括：阀主体10，设置有上下方向 上的流体通道11，具有相对于该流体通道11垂直的滑动空间14；阀板20，通过在上述滑动空 间14内前进或后退来对流体通道11进行开闭；阀板驱动部40，沿着水平方向驱动上述阀板 20；密封部件50，通过沿着相对于上述流体通道11平行的方向进行升降，来开闭滑动空间 14；以及密封部件驱动部60，用于驱动上述密封部件50。该授权专利的主要特征在于，在使 阀板20插入于滑动空间14内的状态下，阀板20可借助流体通道11内的压力差或密封部件50 的上升力来进行升降。详细地，在外力作用到阀板20的上部面或下部面的情况下，即，在构 成流体通道11的流入部12和流出部13产生压力差或密封部件50上升的情况下，通过弹簧22 的作用来使上部或下部伸缩，从而可进行升降。 但是，在该授权专利技术中，除了通过在滑动空间14内进行前进或后退来开闭流 体通道11的阀板20之外，还包括通过沿着相对于流体通道11平行的方向升降来开闭滑动空 间14的密封部件50及其驱动部60，因而，存在复杂的结构导致运行效率下降且缺乏经济性 的问题。并且，由于采用通过结构复杂的密封部件50及其驱动部60来防止阀内部的压差的 方式，因而有必要在起到相同作用的情况下使结构变得简单。 现有技术文献 专利文献 专利文献1：韩国授权专利公报第10-0954212号(授权日期：2010年04月14日) 专利文献2：韩国授权专利公报第10-1258486号(授权日期：2013年04月22日) 专利文献3：韩国授权专利公报第10-1258497号(授权日期：2013年04月22日)
技术实现要素：
本发明用于解决如上所述的问题，本发明的目的在于提供如下的真空闸阀，即，可 通过在开闭流体通道时提供气密来完美地阻隔在流体通道上流动的副产物向阀内部流入， 可防止阀部件腐蚀，简单的内部结构具有经济性，结构上可通过一个驱动部(气缸)来使叶 3 CN 111577912 A 说　明　书 2/6 页 片进行前进、后退以及上下移动。 并且，本发明的目的在于提供如下的真空闸阀，即，可在去除上部的真空腔室与下 部的真空泵之间的压力差的同时有效去除在阀内部产生的压差。 为了实现如上所述的本发明的目的，本发明提供一种真空闸阀，其特征在于，包 括：主要主体，呈上部开放的四边形箱体形状，在内部一侧沿着上下方向垂直贯通形成流体 通道；叶片，能够在上述主要主体的内部空间进行水平移动，用于开闭上述流体通道；齿轮 箱，在上述主要主体的下部一侧安装成一体，在内部设置有用于使上述叶片水平移动的传 动装置；以及上部罩，安装于上述主要主体的开放的上部，上述真空闸阀的特征在于，在上 述流体通道插入配置起到流入部作用的第一管道部件和起到排出部作用的第二管道部件， 上述第一管道部件包括限制流入流路的圆筒形的上部管道部分，上述第二管道部件包括限 制排出流路的圆筒形的下部管道部分，在上述主要主体的内部底面上，在上述流体通道的 周边配置第一支撑板，上述第一支撑板在中心部位形成有内径与上述流体通道的内径相同 的开口部，通过配置于上述第一支撑板下部面的多个压缩弹簧来沿着垂直方向弹性支撑上 述第一支撑板，上述叶片在上述主要主体内固定安装于呈U字形的叶片叉件，能够随着以能 够沿着长度方向直立的方式分别配置于上述主要主体的两侧壁上的一对轨道水平移动。 本发明的特征在于，在上述上部管道部分的中间位置贯通形成第一孔，上述第一 孔与从第一缓慢抽吸装置延伸的第一缓慢抽吸管道的自由端部流体连接，上述第一缓慢抽 吸装置用于去除上述真空闸阀上部的真空腔室与上述真空闸阀下部的真空泵之间的压力 差，在上述下部管道部分的中间部位贯通形成第二孔，上述第二孔与从第二缓慢抽吸装置 延伸的第二缓慢抽吸管道的自由端部流体连接，上述第二缓慢抽吸装置用于去除在上述真 空闸阀的内部产生的压差。 本发明的特征在于，在上述第一支撑板的两侧分别形成台阶形状的台阶部，在上 述台阶部的表面上分别配置用于引导上述叶片的精密动作的凸轮从动件轨道，上述凸轮从 动件轨道使长度方向的两端部呈锥形，使形状朝向末端逐渐变细。 本发明的特征在于，在上述叶片的两侧边缘形成多个连接片，在上述多个连接片 分别形成贯通孔，与之对应地，在上述叶片叉件的杆形状腿部分的上侧形成用于安装并收 容多个连接片的多个凹陷部，在上述多个凹陷部分别形成堵塞孔，在上述多个连接片分别 安装于上述多个凹陷部内的状态下，上述叶片通过经由上述多个连接片的贯通孔并向上述 多个凹陷部的堵塞孔插入的紧固螺栓来固定安装于上述叶片叉件。 在上述叶片叉件的前方位置及上述腿部分的两侧面配置多个第一滚珠轴承，上述 多个第一滚珠轴承中的一部分第一滚珠轴承能够沿着上述轨道移动，当通过上述传动装置 的启动来使上述叶片叉件向上述流体通道侧移动时，在上述多个第一滚珠轴承中，在上述 叶片叉件的前方端部单独设置的第一滚珠轴承在上述凸轮从动件轨道上滑行。 如上所述，根据本发明，当封闭流体通道时，通过使起到阀板作用的叶片朝向流体 通道侧精密移动，并通过与被压缩弹簧弹性支撑的支撑板之间的协同作用来提供完美的气 密性，从而可完美地阻隔在流体通道上流动的副产物向阀的内部流入。因此，本发明具有如 下的效果，即，可确保运行的可靠性，可防止阀的内部部件腐蚀。 并且，本发明具有如下的效果，即，结构上可通过一个驱动部(气缸)来使叶片进行 前进、后退以及上下移动。 4 CN 111577912 A 说　明　书 3/6 页 并且，本发明具有如下的效果，即，对用于去除上部的真空腔室与下部的真空泵之 间的压力差的装置和用于去除在阀的内部产生的压差的装置进行了简化，简单的内部结构 使得制造变得简单，从而能够确保经济性。 附图说明 图1为本发明优选实施例的真空闸阀的外部立体图。 图2为图1所示的真空闸阀的底面外部立体图。 图3至图6为用于表示图1所示的真空闸阀的内部结构的部分分解立体图，为了便 于说明而省略了部分部件来进行图示。