
技术摘要:
本发明属于曝光设备技术领域,尤其涉及一种曝光机,包括主机体和两个传输装置,两个传输装置均包括安装架、传送机构和位移纠偏机构,两个安装架分别位于主机体的输入端和输出端,两个传送机构分别安装于两个安装架上并均用于沿X轴方向传送待曝光膜料通过主机体,两个位 全部
背景技术:
在曝光设备内,曝光设备的主机体两侧通常都设置有用于传输待曝光膜料的传输 装置。这样待曝光膜料便可在传输装置的传送下到达主机体内的指定位置,进行曝光作业。 在实际操作过程中,待曝光膜料易受外界因素的影响而沿其宽度方向发生错位, 现有的传输装置只能够实现对待曝光膜料的前后传送动作,无法对待曝光膜料沿其宽度方 向的错位进行纠偏,需要人工对待曝光膜料发生的沿其宽度方向的错位进行纠偏,较为耗 时费力。
技术实现要素:
本发明的目的在于提供一种曝光机,旨在解决现有技术中的待曝光膜料发生的沿 其宽度方向的错位时,需要人工进行纠偏的技术问题。 为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:一种曝光机,包括主机体和两个传输 装置,两个所述传输装置均包括安装架、传送机构和位移纠偏机构,两个所述安装架分别位 于所述主机体的输入端和输出端,两个所述传送机构分别安装于两个所述安装架上并均用 于沿X轴方向传送待曝光膜料通过所述主机体,两个所述位移纠偏机构均包括底架和直线 电机,两个所述安装架分别沿Y轴方向滑动安装于两个所述底架上,两个所述直线电机分别 沿Y轴方向安装于两个所述安装架上,且两个所述直线电机的连接杆分别连接于两个所述 底架。 进一步地,两个所述位移纠偏机构均包括若干滑轨和若干滑块,各所述滑轨均沿Y 轴方向安装于对应的所述底架上,各所述滑块均安装于对应的所述安装架上并分别与各所 述滑轨滑动连接。 进一步地,两个所述传送机构均包括收卷胶辊和驱动电机,所述收卷胶辊安装于 对应的所述安装架上并用于传送所述待曝光膜料通过所述主机体,所述驱动电机安装于对 应的所述安装架上,且所述驱动电机的驱动轴与所述收卷胶辊传动连接。 进一步地,两个所述传送机构均还包括电磁离合器,所述电磁离合器安装于对应 的所述安装架上,且所述电磁离合器位于所述驱动电机和所述收卷胶辊之间,所述电磁离 合器的输入轴和所述驱动电机的驱动轴传动连接,所述电磁离合器的输出轴和所述收卷胶 辊传动连接。 进一步地,两个所述传送机构均还包括第一传输胶辊、第二传输胶辊和第三传输 胶辊,所述第一传输胶辊、所述第二传输胶辊和所述第三传输胶辊依序沿背离所述主机体 的方向可转动地安装于对应的所述安装架上并与所述收卷胶辊共同形成用于传输所述待 曝光膜料的传输路径。 进一步地,两个所述传送机构均还包括用于承托所述待曝光膜料的承接组件,两 4 CN 111610695 A 说 明 书 2/7 页 个所述承接组件均包括吸气板和承接板,所述吸气板安装于对应的所述安装架上并位于所 述第一传输胶辊和所述主机体之间,所述吸气板开设有用于与外界抽真空装置相连通的吸 气腔,所述承接板安装于所述吸气板上且覆盖于所述吸气腔,所述承接板上开设有若干吸 气孔,各所述吸气孔均与所述吸气腔相连通。 进一步地,所述曝光机还包括两个膜轴装置,两个所述膜轴装置分别位于两个所 述传输装置和所述主机体之间并用于过渡传送所述待曝光膜料。 进一步地,两个所述膜轴装置均包括主架体、第一膜轴、转动电机和第二膜轴,所 述主架体位于对应的所述传输装置和所述主机体之间,所述第一膜轴可转动地安装于所述 主架体上,所述转动电机安装于所述主架体上,且所述转动电机的驱动轴与所述第一膜轴 的第一端相连接,所述第二膜轴可转动地安装于所述主架体内并平行于所述第一膜轴设 置。 进一步地,两个所述膜轴装置均还包括调位机构,两个所述调位机构均包括固定 板和承载架,所述固定板安装于对应的所述主架体内并对应所述第一膜轴设置,所述固定 板的上端面开设有若干安装螺孔,所述承载架的下端面开设有若干装配螺孔,所述承载架 通过若干调位螺栓穿设各所述装配螺孔和各所述安装螺孔以安装于所述固定板上,所述第 二膜轴可转动地安装于所述承载架上。 进一步地,两个所述调位机构还均包括直线马达,所述直线马达安装于对应的所 述主架体的下端面,且所述直线马达的连接杆穿过所述主架体的下端面并固定连接于所述 固定板的下端面。 本发明的有益效果:本发明的曝光机,通过将两传输装置的安装架设置于主机体 的输入端和输出端,这样安装架上装设有的传送机构便可将待曝光膜料传送至主机体内的 指定位置。而通过将两安装架分别沿待曝光膜料传输方向的X轴方向的垂直方向Y轴方向安 装于位移纠偏机构的两底架上,并使得两个直线电机沿Y轴方向推动安装架相对于底架发 生位移,这样便实现了两个安装架带动装设于其上的传送机构沿Y轴方向发生移动。那么当 待曝光膜料在主机体发生沿其宽度方向(也就是Y轴方向)的错位时,两个传送机构即可相 应地沿Y轴方向移动以纠正待曝光膜料发生的错位,这样便避免了人工对待曝光膜料的错 位进行纠偏,从而显著提升了对待曝光膜料错位进行纠偏的效率,提升了待曝光膜料在主 机体内的位置精度。 附图说明 为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述 中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些 实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些 附图获得其他的附图。 图1为本发明实施例提供的曝光机的结构示意图; 图2为本发明实施例提供的曝光机的传输装置的结构示意图; 图3为本发明实施例提供的曝光机的传输装置的爆炸结构示意图; 图4为图3中A处的局部放大视图; 图5为本发明实施例提供的曝光机的承接组件的爆炸结构示意图; 5 CN 111610695 A 说 明 书 3/7 页 图6为本发明实施例提供的曝光机的膜轴装置的结构示意图; 图7为本发明实施例提供的曝光机的膜轴装置的另一结构示意图; 图8为本发明实施例提供的曝光机的膜轴装置的爆炸结构示意图。 其中,图中各附图标记: 10—主机体 20—传输装置 21—安装架 22—传送机构 23—位移纠偏机构 24—第一传动轮 25—第一传动皮带 26—第二传动轮 27—第三传动轮 28—第二传动皮带 29—第四传动轮 30—膜轴装置 31—主架体 32—转动电机 33—第二膜轴 34—调位机构 35—第一膜轴 221—收卷胶辊 222—驱动电机 223—电磁离合器 224—第一传输胶辊 225—第二传输胶辊 226—第三传输胶辊 227—承接组件 231—底架 232—直线电机 233—滑块 234—滑轨 241—第一架体 242—第二架体 243—第三架体 244—保护罩 341—固定板 342—承载架 343—直线马达 344—装配盘件 345—导向组件 351—装配板 2271—吸气板 2272—承接板 2273—吸气腔 2274—吸气孔 2275—进气嘴 3451—导向套筒 3452—导向杆。