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通过MOCVD生产涂覆有石墨烯的发光装置的方法


技术摘要:
本发明提供了用于生产光敏电子装置或发光电子装置的方法,所述方法包括:在MOCVD反应室中通过MOCVD形成光敏装置或发光装置;在MOCVD反应室中在光敏装置或发光装置上形成石墨烯层结构;其中所述石墨烯层结构包括2个至10个石墨烯层,优选2个至6个石墨烯层,并且其中所述  全部
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