技术摘要：
本发明涉及液晶设备的制造装置以及制造方法。提供能够将多个驱动基板与多个对置基板平行地贴合来同时制作多个液晶设备的液晶设备的制造装置。液晶设备的制造装置(1)包括腔室(10)、平台(20)、板保持部(30)、驱动部(21)以及控制部(4)。平台(20)被容纳在腔室(10)内并保持  全部
背景技术：
液晶设备用于显示装置以及光开关装置等。液晶设备按照每个像素对被照射的照 明光进行光调制而生成图像光，或者调整液晶的折射率而使信号光的波阵面变化。在专利 文献1中记载有液晶设备的制造方法的一例。 在先技术文献 专利文献 专利文献1：日本专利特开2001-91931号公报。
技术实现要素：
发明所要解决的问题 存在以下成批贴合方法：将半导体基板与玻璃基板贴合而制作结构体，通过将该 结构体以液晶设备为单位进行分割，从而同时制作多个液晶设备。在成批贴合方法中，当在 半导体基板上存在不良区域时，与不良区域对应的液晶设备为不良品。即，在成批贴合方法 中，当在半导体基板上存在不良区域时，也制作出不良品的液晶设备。 对半导体基板进行分割而挑选良品的驱动基板，并对玻璃基板进行分割而制作对 置基板，通过将良品的驱动基板与对置基板贴合，由此能够效率好地制作良品的液晶设备。 但是，由于将以液晶设备为单位分别分割的驱动基板与对置基板贴合，因此与成 批贴合方法比较，难以将驱动基板与对置基板彼此平行地效率好地贴合。因此，相当于驱动 基板与对置基板之间的间隙的单元间隙的面内偏差变大，成为使液晶设备的性能恶化的主 要原因。 本发明其目的在于提供液晶设备的制造装置以及制造方法，能够将多个驱动基板 与多个对置基板平行地贴合，并同时制作多个液晶设备。 用于解决问题的手段 本发明提供液晶设备的制造装置，包括：腔室；平台，被容纳于所述腔室内，并保持 多个第一基板；板保持部，被容纳于所述腔室内，并保持多个第二基板；驱动部，驱动所述平 台或者所述板保持部；以及控制部，对所述驱动部进行控制，其中，在第三基板被保持在多 个所述第二基板上或者在所述第三基板和遮光掩膜或减光掩膜被保持在多个所述第二基 板上的状态下，所述控制部通过控制所述驱动部，将多个所述第一基板与多个所述第二基 板贴合来制作多个液晶设备。 本发明提供一种液晶设备的制造方法，其中，在多个第一基板上滴下预定量的液 晶，并涂布预定量的密封材料；将多个所述第一基板保持在腔室内的平台上；在所述腔室内 的基板保持板上以与多个所述第一基板相对置的方式保持多个第二基板；在所述腔室内在 多个所述第二基板上保持第三基板；在使所述腔室内成为减压状态之后，将所述平台移动 3 CN 111596490 A 说　明　书 2/6 页 到预定位置，并且使多个所述第一基板和多个所述第二基板经由所述密封材料和液晶彼此 接触，使所述平台进一步移动，将多个所述第二基板从所述基板保持板分离，并将所述第三 基板的重力施加到多个所述第二基板上；在使腔室内成为大气压状态之后，在将所述第三 基板的重力施加到多个所述第二基板的状态下，向多个所述第一基板的预定区域照射光， 从而使多个所述第一基板和多个所述第二基板贴合。 发明的效果 根据本发明的液晶设备的制造装置以及制造方法，通过将多个驱动基板与多个对 置基板平行地贴合，能够同时制作多个液晶设备。 附图说明 图1是示出一实施方式的液晶设备的制造装置的一例的结构图； 图2是示出平台向预定的位置移动的状态的一例的截面图； 图3是示出平台向预定的位置移动的状态的一例的截面图； 图4是示出一实施方式的液晶设备的制造装置的一例的结构图； 图5是示出一实施方式的液晶设备的制造方法的一例的流程图； 图6是示出图像的亮度经时变化的一例的图； 图7是示出图像的亮度经时变化的一例的图。