技术摘要：
本发明涉及半导体制造的光刻领域，特别涉及一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置。所述SRAF图像生成方法包括：分析待处理版图中各边的对称性信息，基于具有对称性的边进行分组；根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组边的SRAF点生成范围；设定SRAF点之间  全部
背景技术：
】 光刻工艺是现有大规模集成电路制造过程中最重要的工艺，即通过光刻机将掩模 上集成电路的设计图形转移到硅片上的重要手段。掩模上集成电路设计图形通过光刻机的 投影物镜在硅片上成像时，由于掩模上图形特征尺寸的较小，光的衍射现象显著。当某些高 阶衍射光因投影物镜光学系统孔径限制无法参与成像时，在硅片上的成像将产生变形和图 形无法分辨的现象。这一现象被称为光学邻近效应OPE(Optical  Proximity  Effect)。为提 高成像分辨率和成像质量，人们可以通过对掩模上图形进行优化实现对上述光学邻近效应 的校正即OPC(Optical  Proximity  Correction)。 一种传统的补偿方案是将次分辨率辅助特征SRAF(Sub-Resolution  Assist  Features)添加到掩模的图案。用于确定SRAF在光掩模上的放置方法包括基于规则的方法 和基于模型的方法。在基于模型的方法中，需要提前放置一些点作为“种子”，用来辅助生成 SRAF图像。我们将这些点称为SRAF点。然而，当前的方法中并未考虑图形的对称性，这使得 生成的SRAF图像不能维持版图中的对称性。 因此，亟待提供一种可以维持版图的SRAF图像的生成方案。 【
技术实现要素：
】 为解决现有方法生成的SRAF图像不能维持版图中原有对称性的技术问题，本发明 提供一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置。 本发明为解决上述技术问题提供以下技术方案：一种SRAF图像生成方法，提供一 待处理版图，所述SRAF图像生成方法包括如下步骤：步骤S1：分析所述待处理版图中各边的 对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；步骤S2：以边的分组为单 位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；步 骤S3：设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述 间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签；步骤S4，获取每 个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应 SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及步 骤S5： 对步骤S4中所保留的SRAF点进行运算生成SRAF图像；其中，对所保留的SRAF点中 具有相同标签的SRAF点进行的运算相同。 优选地，所述对称性包括轴对称、中心对称、旋转对称或平移对称中任一种或多种 组合。 优选地，所述SRAF点范围划定规则包括：设定到所述对称性的边的最大距离c1和 4 CN 111612862 A 说　明　书 2/11 页 最小距离c2，将到所述对称性的边的距离小于最大距离c1且大于最小距离c2的区域定义为 SRAF点生成范围；将到所述对称性的边的距离小于最小距离c2的区域定义为禁区。 优选地，上述步骤S3进一步包括：步骤S31：设定各SRAF点之间的间隔距离，在所述 每组中各对称性边的SRAF点的生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点；步骤S32：判断所 选定的SRAF点是否在其他边的禁区；若是，则执行步骤S33，若否，则执行步骤S34；步骤S33： 舍弃所选定的SRAF点；及步骤S34：保留该所选定的SRAF点，并标记每个该选定的SRAF点所 属的父边及对应SRAF点的标签。 优选地，上述步骤S4进一步包括：步骤S41：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅 有父边的SRAF点；步骤S42：获取具有父边以及邻近边的SRAF点，进一步获得对应SRAF点到 其所属父边和邻近边的距离；步骤S43：判断步骤S42中对应的SRAF点到父边距离是否大于 到邻近边距离，若是，执行步骤S44，若否，执行步骤S45；步骤S44：舍弃到父边距离大于到邻 近边距离的SRAF点；及步骤S45：保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点。 优选地，在上述步骤S42中，所述每个SRAF点对应一条父边及至少一条邻近边；或 所述每个SRAF点仅对应一条父边。 本发明为解决上述技术问题提供以下技术方案：一种SRAF图像生成系统，包括：对 称边分组模块：配置用于分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将 具有相同对称性的边进行分组；SRAF点的范围设定模块：配置用于以边的分组为单位，根据 预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；SRAF点父 边归属模块：配置用于设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生 成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标 签；SRAF点筛选模块：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点，针对具有邻 近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和对应的SRAF点到邻近边的距离，保留到父边距 离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及SRAF图像生成模块：配置用于对步骤S4中所保留的 SRAF点进行运算生成SRAF图像；其中，对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行的 运算相同。 优选地，所述SRAF点父边归属模块包括：SRAF点生成模块：配置用于设定各SRAF点 之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点的生成范围中，以所述间隔距离生成 SRAF点；及SRAF点位置判断模块：配置用于判断所选定的SRAF点是否在其他边的禁区；若 是，则舍弃所选定的SRAF点，若否，则保留该所选定的SRAF点，并标记每个该选定的SRAF点 所属的父边及对应SRAF点的标签。 优选地，所述SRAF点筛选模块包括：邻近边状态获取模块：配置用于获取每个SRAF 点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；距离获取模块：配置用于基于既有父边又有邻近 边的SRAF点，获取对应的SRAF点到其所属父边和邻近边的距离；及距离判断模块：配置用于 判断对应的SRAF点到父边距离是否大于到邻近边距离，若是，则舍弃对应的SRAF点，若否， 则保留对应的SRAF点。 本发明为解决上述技术问题提供以下技术方案：一种电子装置，包括存储单元及 一个或多个处理单元，所述存储单元用于存储一个或多个程序；当所述一个或多个程序被 所述一个或多个处理单元执行，使得所述一个或多个处理单元实现上述任一项所述的SRAF 图像生成方法。 5 CN 111612862 A 说　明　书 3/11 页 与现有技术相比，本发明提供的SRAF图像生成方法，是基于版图中各组具有相同 对称性的边设置合适的SRAF点，并基于所述SRAF点生成SRAF图像；与现有的SRAF图像生成 方法相比，本发明所提供的方法以具体版图的对称性为依据生成，先获得对应的可能生成 SRAF点范围，并在该SRAF点范围内生成匹配的SRAF点，进一步地，在SRAF点进行判断处理 后，基于SRAF图像生成算法，进一步生成SRAF图像。基于上述方法所获得的所述SRAF图像的 对称性精度高，而且可有效维持原版图对称性。 本发明提供的SRAF图像生成方法中根据版图信息确定对称性，可适用于多种版图 对称形式，如轴对称、中心对称、旋转对称或平移对称等，具有灵活性和广泛的适用性，可解 决多种版图的对称性的问题。 本发明提供的SRAF图像生成方法中通过SRAF点范围划定规则的限定可进一步限 定SRAF点的范围；进一步地，通过基于距离的大小设定所述对称性的边的区域范围，从而获 得对应的所述对称性的边的禁区，从而可在保证生成SRAF图像的准确度及对称性的同时， 可使所述SRAF图像生成方法适用于多种版图中。 本发明提供的SRAF图像生成方法中通过设定各SRAF点的间隔距离，并去除不符合 要求的SRAF点，仅保留在各SRAF点的之内且在禁区范围之外的可确保在所述SRAF点的范围 内生成的SRAF点相对位置的一致性，便于后期生成SRAF图像更加精确，满足光刻表现的需 求。 本发明提供的SRAF图像生成方法中通过标记各SRAF点所述的父边，有邻近边的标 记邻近边，并比较特定SRAF点到父边距离和该对应的SRAF点相邻近边距离的大小进一步筛 选SRAF点，可有效去除SRAF点范围重合区域的点，确保生成的SRAF图像信息的准确性。 本发明提供的SRAF图像生成方法中通过标记每个SRAF点的标签，并对具有相同标 签的SRAF点进行相同的运算，相同标签的SRAF点在生成SRAF图像过程中产生的影响大小相 同，进而保证对应位置生成的SRAF图像相同。 通过本发明提供的一种SRAF图像生成系统及其电子装置，所述SRAF图像生成系统 及其电子装置具有与上述SRAF图像生成方法相同的有益效果，在此不再赘述。 【附图说明】 图1是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法的步骤流程示意图； 图2是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之基于具有对称性的 边进行分组的步骤流程示意图； 图3是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之待处理版图的结构 示意图； 图4是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之另一待处理版图的 结构示意图； 图5是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之待处理版图中SRAF 点范围的结构示意图； 图6是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF点生成及标记 其所属的父边的步骤流程示意图； 图7是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF点的分布示意 6 CN 111612862 A 说　明　书 4/11 页 图一； 图8是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF点筛选过程的 步骤流程示意图； 图9是图7中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF点的分布示意图一中O处所示 放大示意图； 图10是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF点的分布示 意图二； 图11是本发明第一实施例中提供的一种SRAF图像的生成方法之SRAF图像示意图； 图12是本发明第二实施例中提供的提供一种SRAF图像的生成系统的框架结构示 意图； 图13是本发明第二实施例中提供的提供一种SRAF图像的生成系统之对称边分组 模块的框架结构示意图； 图14是本发明第二实施例中提供的提供一种SRAF图像的生成系统之SRAF点父边 归属模块的框架结构示意图； 图15是本发明第二实施例中提供的提供一种SRAF图像的生成系统之SRAF点筛选 模块的框架结构示意图； 图16是本发明第三实施例中提供的提供一种电子装置的框架结构示意图。 附图标识： 11、禁区；c1、最大距离；c2、最小距离；101、位于A区和E区叠加区域的SRAF点；102、 位于E区的SRAF点；104、基于对称性的边h生成的SRAF点一；105、基于对称性的边h生成的 SRAF点二；20、SRAF图像的生成系统；21、对称边分组模块；22、SRAF点的范围设定模块；23、 SRAF点父边归属模块；24、SRAF点筛选模块；25、SRAF图像生成模块；211、版图获取模块； 212、对称规则制定模块；213、分组模块；231、SRAF点生成模块；232、SRAF点位置判断模块 232；241、邻近边状态获取模块；242、距离获取模块；243、距离判断模块； 40、电子装置；41、存储单元；42、处理单元。 【