技术摘要：
本发明提供一种柔性公自转传送装置及带有该装置的镀膜机腔体，包括：定齿盘；柔性轨道，柔性轨道设于定齿盘的外环；多个自转轮盘，自转轮盘安装在柔性轨道与定齿盘之间，且通过齿轮与定齿盘啮合接触；驱动机构通过磁流体安装在真空腔体顶板上且通过链轮与自转轮盘上的  全部
背景技术：
真空镀膜已经大量应用于生活生产领域，尤其在装饰镀膜，光学镀膜，电子产品镀 膜和建筑玻璃镀膜等领域。镀膜时，将基片与靶材同置真空腔中，通过加热等方式，使靶材 表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。 在批量生产装饰膜和电子小配件镀膜时候，工件随着工件架在真空腔体内相对阴 极做公自转运动，有利于镀膜的均匀成膜和大批量生产；同时大批量快速的挂载和稳定顺 利的进行真空腔体内外搬运挂件成为生产的关键。 公自转工件架在真空镀膜领域已经广泛使用，用来提高镀膜的均匀型和单腔体装 载量；除了单腔体镀膜，多腔体镀膜生产线也应用公自转工件架完成镀膜工艺，不仅如此公 自转工件架在多腔体镀膜生产线中也要完成工件交换，通常单腔体的公自转有中心动力引 入和旁置动力引入两种，在镀膜设备上能够实现公自转和自转的工装。 然而，现有的公自转工件架由于结构过大，不利于真空腔体中组件的安装，如抽真 空装置；在多腔体安装中，为配合现有的公自转工件架通过阀门与进出门，与之配合的真空 腔体插板阀的跨度及真空腔体进出门的宽度都会较大，进而也会其他功能模块的布置。
技术实现要素：
为解决现有公自转工件架结构过大而影响整体镀膜机安装的技术问题，本发明提 供一种柔性公自转传送装置及带有该装置的镀膜机腔体。 具体技术方案如下： 一种柔性公自转传送装置，其不同之处在于，所述柔性公自转传送装置包括： 定齿盘； 柔性轨道，所述柔性轨道设于所述定齿盘的外环； 多个自转轮盘，所述自转轮盘安装在所述柔性轨道与所述定齿盘之间，且与所述 定齿盘接触； 驱动机构，所述驱动机构与所述自转轮盘进行连接，所述自转轮盘在所述驱动机 构驱动下沿所述柔性轨道运动； 及 挂载杆，所述挂载杆连接在所述自转轮盘上。 进一步，所述定齿盘包括定齿盘本体及沿着所述定齿盘本体边沿设置的定轮齿 轮；所述自转轮盘包括自转轮盘本体及沿着所述自转轮盘本体边沿设置的自转轮盘齿轮， 所述自转轮盘齿轮与所述定轮齿轮啮合。 进一步，所述柔性轨道包括公转轨道部及转向轨道部，所述转向轨道部连接有旋 4 CN 111575670 A 说　明　书 2/4 页 转支架，所述旋转支架与变向驱动机构连接。 进一步，所述驱动机构包括动力部件及传动部件，所述传动部件包括安装座台、安 装在所述安装座台上并与所述柔性轨道相配合的滑轮组，每个所述安装座台上安装一个所 述自转轮盘，所述动力部件为所述滑轮组提供动力使其沿所述柔性轨道进行运动。 进一步，所述动力部件包括电机组、与电机组的动力链轮及设置在所述安装座台 上且与所述动力链轮啮合的一排链齿轴。 进一步，相邻所述安装座台通过活动锁扣沿着所述柔性轨道进行连接。 进一步，所述自转轮盘上开设有孔洞且下方连接有轴承套，轴承套内嵌有自转轴， 所述挂载杆连接在自转轴上。 进一步，所述电机组包括电机安装座、安装在所述电机安装座外部的动力电机、及 安装在所述电机安装座内部且与所述动力链轮真空密封连接的磁流体。 一种镀膜机单腔体，其不同之处在于，所述镀膜机单腔包括腔本体及腔体门，所述 腔本体包括腔本体顶侧及围绕所述腔本体顶侧的腔本体侧面，所述腔本体侧面设有开口， 所述腔体门安装在腔本体的开口处，所述腔本体顶侧安装由上述柔性公自转传送装置及监 控所述柔性公自转上传送装置的信号检测仪。 一种镀膜机多腔体，其不同之处在于，所述镀膜机多腔体由两个或两个以上的镀 膜机单腔体利用真空隔离阀进行拼接而成，每个镀膜机单腔体包括：腔本体、腔体门，所述 腔本体包括腔本体顶侧及围绕所述腔本体顶侧的腔本体侧面，所述腔本体侧面对称设有两 个开口，所述腔体门安装在腔本体的开口处，所述腔本体顶侧安装由上述柔性公自转传送 装置及监控所述柔性公自转传送装置的信号检测仪。 与现有技术相比，本发明的有益效果在于：(1)采用链轮轨道设计方案，装置的结 构体积小，方便在腔体内安装其他功能结构及装置；(2)既可以实现单腔体的镀膜公自转运 行，在单腔体中进出片挂载，也可以实现多腔体中单腔体的公自转运行，在多腔体间自动的 工件交换；(3)柔性轨道可进行变向满足生产中的不同需求；(4)全程可进行自动化控制，操 作简便。 附图说明 图1为柔性公自转上传送装置拼装图； 图2为柔性公自转上传送装置拼装仰视图； 图3为图2A-A方向剖视图； 图4为柔性公自转上传送装置与腔体安装图； 图5为柔性公自转上传送装置与腔体安装仰视图； 图6为实施例2镀膜机单腔体图； 图7为实施例3镀膜机多腔体仰视图； 附图中，各标号所代表的部件列表如下： 柔性公自转传送装置-A，定齿盘-1，定齿盘本体-101，定轮齿轮-102，柔性轨道-2， 公转轨道部-201，转向轨道部-202，旋转支架-203，变向驱动机构-204，自转轮盘-3，自转轮 盘本体-301，自转轮盘齿轮-302，轴承套-303，自转轴-304，驱动机构-4，动力部件-401，电 机组-4011，动力链轮-4012，链齿轴-4013，电机安装座-4011a，动力电机-4011b，磁流体- 5 CN 111575670 A 说　明　书 3/4 页 4011c，传动部件-402，安装座台-4021，滑轮组-403，滑座-4031，V型滑轮组件-4032，活动锁 扣-404，挂载杆-5，镀膜机单腔-B，腔本体-B1，开口-B2，腔本体顶侧-B1a，腔本体侧面-B1b， 检测仪安装座-B101，真空隔离阀-C。