技术摘要：
本发明提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其通过包含化学式1所表示的倍半硅氧烷、胺化合物、季铵氢氧化物、具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇单烷基醚及具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚，从而抗蚀剂剥离效果优异，由此能够使剥离的抗蚀剂所导致的设备内过滤器 全部
背景技术：
滤色器(color filter)可通过内置于互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor，CMOS)或电荷耦合元件(charge coupled device，CCD)之类 的图像传感器的彩色摄影装置内来用于实际获得彩色图像，除此之外，也广泛应用于摄影 元件、等离子体显示器面板(PDP)、液晶显示装置(LCD)、场发射显示器(FED)和发光显示器 (LED)等中，其应用范围正在迅速扩大。特别是，近年来LCD的用途进一步扩大，因此认为在 再现LCD的色彩方面滤色器是最重要的构件之一。 滤色器基板由红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)图案和起到用于阻断各像素之间的漏光 并提高对比度的作用的黑矩阵、以及对液晶盒施加电压的共用电极构成。 滤色器是通过将根据用途选择的黑矩阵材料涂布于玻璃基板上、形成黑色掩模图 案后、利用光刻工序形成彩色抗蚀剂图案而制造。 这样的滤色器制造工序中，会不可避免地发生彩色抗蚀剂图案的不良，如果彩色 抗蚀剂一旦固化，则几乎不可能仅通过对错误的部分去除来进行修理，并且几乎没有能够 将彩色抗蚀剂去除的溶剂，因此不良的滤色器无法进行修理等重新加工，大部分会被直接 废弃处理，因而存在生产率降低的问题。 为了解决该问题，开发了用于将固化的彩色抗蚀剂去除的组合物。 抗蚀剂大体可以分为正型抗蚀剂和负型抗蚀剂，与去除相对容易而可被以有机溶 剂为基础的剥离剂在40～50℃的温度条件下在1分钟内去除的正型抗蚀剂不同，负型抗蚀 剂具有固化度高、热处理后变硬而难以剥离去除的负型抗蚀剂的特性。因此，为了去除负型 抗蚀剂，在70℃以上的温度条件下需要5分钟以上的时间，因此要求更强的剥离性能。 与此相关，韩国公开专利第10-2016-0118548号中公开了，由于包含特定化学式所 表示的聚醚胺、以及含有被碳原子数1～6的烷氧基或碳原子数2～6的环状醚基取代的碳原 子数1～6的烷基的胺化合物，从而剥离力优异的抗蚀剂剥离液组合物。 但是，在上述公开专利所记载的抗蚀剂剥离液组合物的情况下，存在对于金属下 部膜、特别是SiNx下部膜质造成损害而诱发不良的问题。 现有技术文献 专利文献 韩国公开专利第10-2016-0118548号(2016.10.12.)
技术实现要素：
所要解决的课题 本发明是用于解决如上所述的问题的发明，其目的在于，提供抗蚀剂剥离力优异， 且不会对下部金属膜造成损伤的抗蚀剂剥离液组合物。 4 CN 111596533 A 说 明 书 2/14 页 解决课题的方法 用于实现上述目的的本发明的抗蚀剂剥离液组合物的特征在于，包含以下化学式 1所表示的倍半硅氧烷、胺化合物、季铵氢氧化物、具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇 单烷基醚、以及具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚。 [化学式1] (R1SiO1.5)n (上述化学式1中， R1各自独立地为氢原子、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、烯丙 基、亚烯丙基；或者具有功能性基团的碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、碳 原子数6～30的芳基或碳原子数6～30的亚芳基的衍生物， n为8～100的整数)。 发明效果 本发明的抗蚀剂剥离液组合物具有以下优点：抗蚀剂剥离效果优异，能够使因剥 离的抗蚀剂导致的设备内过滤器的堵塞最小化，能够防止下部膜质、尤其SiNx下部膜质的 损伤。
本发明提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其通过包含化学式1所表示的倍半硅氧烷、胺化合物、季铵氢氧化物、具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇单烷基醚及具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚，从而抗蚀剂剥离效果优异，由此能够使剥离的抗蚀剂所导致的设备内过滤器 全部
背景技术：
滤色器(color filter)可通过内置于互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor，CMOS)或电荷耦合元件(charge coupled device，CCD)之类 的图像传感器的彩色摄影装置内来用于实际获得彩色图像，除此之外，也广泛应用于摄影 元件、等离子体显示器面板(PDP)、液晶显示装置(LCD)、场发射显示器(FED)和发光显示器 (LED)等中，其应用范围正在迅速扩大。特别是，近年来LCD的用途进一步扩大，因此认为在 再现LCD的色彩方面滤色器是最重要的构件之一。 滤色器基板由红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)图案和起到用于阻断各像素之间的漏光 并提高对比度的作用的黑矩阵、以及对液晶盒施加电压的共用电极构成。 滤色器是通过将根据用途选择的黑矩阵材料涂布于玻璃基板上、形成黑色掩模图 案后、利用光刻工序形成彩色抗蚀剂图案而制造。 这样的滤色器制造工序中，会不可避免地发生彩色抗蚀剂图案的不良，如果彩色 抗蚀剂一旦固化，则几乎不可能仅通过对错误的部分去除来进行修理，并且几乎没有能够 将彩色抗蚀剂去除的溶剂，因此不良的滤色器无法进行修理等重新加工，大部分会被直接 废弃处理，因而存在生产率降低的问题。 为了解决该问题，开发了用于将固化的彩色抗蚀剂去除的组合物。 抗蚀剂大体可以分为正型抗蚀剂和负型抗蚀剂，与去除相对容易而可被以有机溶 剂为基础的剥离剂在40～50℃的温度条件下在1分钟内去除的正型抗蚀剂不同，负型抗蚀 剂具有固化度高、热处理后变硬而难以剥离去除的负型抗蚀剂的特性。因此，为了去除负型 抗蚀剂，在70℃以上的温度条件下需要5分钟以上的时间，因此要求更强的剥离性能。 与此相关，韩国公开专利第10-2016-0118548号中公开了，由于包含特定化学式所 表示的聚醚胺、以及含有被碳原子数1～6的烷氧基或碳原子数2～6的环状醚基取代的碳原 子数1～6的烷基的胺化合物，从而剥离力优异的抗蚀剂剥离液组合物。 但是，在上述公开专利所记载的抗蚀剂剥离液组合物的情况下，存在对于金属下 部膜、特别是SiNx下部膜质造成损害而诱发不良的问题。 现有技术文献 专利文献 韩国公开专利第10-2016-0118548号(2016.10.12.)
技术实现要素：
所要解决的课题 本发明是用于解决如上所述的问题的发明，其目的在于，提供抗蚀剂剥离力优异， 且不会对下部金属膜造成损伤的抗蚀剂剥离液组合物。 4 CN 111596533 A 说 明 书 2/14 页 解决课题的方法 用于实现上述目的的本发明的抗蚀剂剥离液组合物的特征在于，包含以下化学式 1所表示的倍半硅氧烷、胺化合物、季铵氢氧化物、具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇 单烷基醚、以及具有碳原子数1～4的烷基的亚烷基二醇二烷基醚。 [化学式1] (R1SiO1.5)n (上述化学式1中， R1各自独立地为氢原子、碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、烯丙 基、亚烯丙基；或者具有功能性基团的碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的亚烷基、碳 原子数6～30的芳基或碳原子数6～30的亚芳基的衍生物， n为8～100的整数)。 发明效果 本发明的抗蚀剂剥离液组合物具有以下优点：抗蚀剂剥离效果优异，能够使因剥 离的抗蚀剂导致的设备内过滤器的堵塞最小化，能够防止下部膜质、尤其SiNx下部膜质的 损伤。
