技术摘要：
本发明在抑制通带的特性劣化的同时使产生在比通带靠低频率侧的瑞利波的杂散降低。在弹性波装置(1)中，在电学上最靠近第1端子(101)的天线端谐振器是第1弹性波谐振器(3A)。在第1弹性波谐振器(3A)以及第2弹性波谐振器(3B)各自中，在将弹性波的波长设为λ时，压电体层的厚  全部
背景技术：
以往，已知有具有压电膜的声表面波装置(弹性波谐振器)(例如，参照专利文献 1)。 在专利文献1记载的声表面波装置具备支承基板、高声速膜、低声速膜、压电膜、以 及IDT电极。高声速膜是如下的膜，即，在高声速膜传播的体波(Bulk  wave)的声速与在压电 膜传播的弹性波的声速相比成为高速。低声速膜是如下的膜，即，层叠在高声速膜上，在低 声速膜传播的体波的声速与在压电膜传播的体波的声速相比成为低速。压电膜具有压电 性，层叠在低声速膜上。IDT电极形成在压电膜上。在专利文献1记载的声表面波装置中，能 够提高Q值，能够实现弹性波装置的低损耗性。 在先技术文献 专利文献 专利文献1：国际公开第2012/086639号
技术实现要素：
发明要解决的课题 然而，在像专利文献1记载的以往的弹性波谐振器那样使用高声速膜、低声速膜、 以及压电膜的层叠构造的情况下，在比通带靠低频率侧产生瑞利波的杂散，低频率侧的衰 减特性变差。特别是，在使用多个以往的弹性波谐振器构成弹性波装置的情况下，在相对于 天线而与弹性波装置公共地连接的低频率侧滤波器的通带产生上述杂散。 本发明是鉴于上述的方面而完成的发明，本发明的目的在于，提供一种能够在抑 制通带的特性劣化的同时使产生在比通带靠低频率侧的瑞利波的杂散降低的弹性波装置、 多工器、高频前端电路以及通信装置。 用于解决课题的技术方案 本发明的一个方式涉及的弹性波装置设置在作为天线端子的第1端子与不同于所 述第1端子的第2端子之间。所述弹性波装置具备多个弹性波谐振器。所述多个弹性波谐振 器包含多个串联臂谐振器和多个并联臂谐振器。所述多个串联臂谐振器设置在将所述第1 端子和所述第2端子连结的第1路径上。所述多个并联臂谐振器设置在将所述第1路径上的 多个节点的每一个和接地连结的多个第2路径上。在将所述多个弹性波谐振器中的在电学 上最靠近所述第1端子的弹性波谐振器设为天线端谐振器的情况下，所述天线端谐振器是 第1弹性波谐振器。所述多个弹性波谐振器中的所述天线端谐振器以外的至少一个弹性波 谐振器是第2弹性波谐振器。所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器各自包含压 5 CN 111587534 A 说　明　书 2/20 页 电体层、IDT电极、高声速构件、以及低声速膜。所述IDT电极形成在所述压电体层上，具有多 个电极指。所述高声速构件夹着所述压电体层位于与所述IDT电极相反侧。在所述高声速构 件中，传播的体波的声速与在所述压电体层传播的弹性波的声速相比为高速。所述低声速 膜设置在所述高声速构件与所述压电体层之间。在所述低声速膜中，传播的体波的声速与 在所述压电体层传播的体波的声速相比为低速。在将由所述IDT电极的所述多个电极指的 周期即电极指周期决定的弹性波的波长设为λ时，所述压电体层的厚度为3.5λ以下。将所述 波长设为λ(μm)，将所述IDT电极的厚度设为TIDT(μm)，将所述IDT电极的比重设为ρ(g/cm3)， 将电极指的宽度除以所述电极指周期的二分之一的值而得到的值即占空比设为Du，将所述 压电体层的厚度设为TLT(μm)，将所述低声速膜的厚度设为TVL(μm)，在该情况下，以由式(1) 求出的θB(°)为基准，所述第1弹性波谐振器的所述压电体层的切割角在θB±4°的范围内。与 所述第1弹性波谐振器的所述压电体层的切割角相比，所述第2弹性波谐振器的所述压电体 层的切割角与θB(°)的差异大。 [数学式1] 本发明的一个方式涉及的弹性波装置设置在作为天线端子的第1端子与不同于所 述第1端子的第2端子之间。所述弹性波装置具备多个弹性波谐振器。所述多个弹性波谐振 器包含多个串联臂谐振器和多个并联臂谐振器。所述多个串联臂谐振器设置在将所述第1 端子和所述第2端子连结的第1路径上。所述多个并联臂谐振器设置在将所述第1路径上的 多个节点的每一个和接地连结的多个第2路径上。在将所述多个弹性波谐振器中的在电学 上最靠近所述第1端子的弹性波谐振器设为天线端谐振器的情况下，所述天线端谐振器是 第1弹性波谐振器。所述多个弹性波谐振器中的所述天线端谐振器以外的至少一个弹性波 谐振器是第2弹性波谐振器。所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器各自包含压 电体层、IDT电极、高声速构件、以及低声速膜。所述IDT电极形成在所述压电体层上，具有多 个电极指。所述高声速构件夹着所述压电体层位于与所述IDT电极相反侧。在所述高声速构 件中，传播的体波的声速与在所述压电体层传播的弹性波的声速相比为高速。所述低声速 膜设置在所述高声速构件与所述压电体层之间。在所述低声速膜中，传播的体波的声速与 在所述压电体层传播的体波的声速相比为低速。在将由所述IDT电极的所述多个电极指的 周期即电极指周期决定的弹性波的波长设为λ时，所述压电体层的厚度为3.5λ以下。在所述 第1弹性波谐振器中产生的瑞利波响应的强度比在所述第2弹性波谐振器中产生的瑞利波 响应的强度小。 本发明的一个方式涉及的多工器具备由所述弹性波装置构成的第1滤波器和第2 滤波器。所述第2滤波器设置在所述第1端子与不同于所述第1端子的第3端子之间。所述第1 6 CN 111587534 A 说　明　书 3/20 页 滤波器的通带与所述第2滤波器的通带相比为高频带。 本发明的一个方式涉及的高频前端电路具备所述多工器和放大电路。所述放大电 路与所述多工器连接。 本发明的一个方式涉及的通信装置具备所述高频前端电路和信号处理电路。所述 信号处理电路对由天线接收的高频信号进行处理。所述高频前端电路在所述天线与所述信 号处理电路之间传递所述高频信号。 发明效果 根据本发明的上述方式涉及的弹性波装置、多工器、高频前端电路以及通信装置， 能够在抑制通带的特性劣化的同时使产生在比通带靠低频率侧的瑞利波的杂散降低。 附图说明 图1是本发明的一个实施方式涉及的弹性波装置的电路图。 图2是具备同上的弹性波装置的通信装置的结构图。 图3A是同上的弹性波装置中的第1弹性波谐振器的剖视图。图3B是同上的弹性波 装置中的第2弹性波谐振器的剖视图。 图4A是同上的弹性波装置中的第1弹性波谐振器的主要部分俯视图。图4B示出同 上的弹性波装置中的第1弹性波谐振器，是图4A的A-A线剖视图。 图5A是同上的弹性波装置中的第2弹性波谐振器的主要部分俯视图。图5B示出同 上的弹性波装置中的第2弹性波谐振器，是图5A的A-A线剖视图。 图6是表示同上的弹性波装置的第1弹性波谐振器中的第1范围的构造参数与压电 体层的切割角的关系的曲线图。 图7是表示同上的弹性波装置的第1弹性波谐振器中的第2范围的构造参数与压电 体层的切割角的关系的曲线图。 图8是表示同上的弹性波装置的第1弹性波谐振器中的第3范围的构造参数与压电 体层的切割角的关系的曲线图。 图9是对同上的弹性波装置的第1弹性波谐振器表示第1范围的构造参数中的、压 电体层的切割角与瑞利波的杂散的带宽的关系的曲线图。 图10是对同上的弹性波装置的第1弹性波谐振器表示第2范围的构造参数中的、压 电体层的切割角与瑞利波的杂散的带宽的关系的曲线图。 图11是对同上的弹性波装置的第1弹性波谐振器表示第3范围的构造参数中的、压 电体层的切割角与瑞利波的杂散的带宽的关系的曲线图。 图12是本发明的一个实施方式的变形例1涉及的多工器的电路图。 图13是本发明的一个实施方式的变形例2涉及的弹性波装置的电路图。 图14A是本发明的一个实施方式的变形例3涉及的弹性波装置中的第1弹性波谐振 器的剖视图。图14B是同上的弹性波装置中的第2弹性波谐振器的剖视图。