技术摘要：
提供卡盘工作台，即使未利用清洗磨具对保持面进行清洗，也将保持面维持在未附着加工屑的干净的状态，利用磨削或研磨加工使卡盘工作台所保持的被加工物形成为均匀的厚度。卡盘工作台(3)具有：多孔板(30)，其具有对被加工物进行吸引保持的保持面(30a)；框体，其具有使保  全部
背景技术：
磨削装置使具有由多孔部件构成的保持面的卡盘工作台的保持面与真空产生装 置等吸引源连通，在利用吸引源所产生的吸引力将被加工物吸引保持于保持面上的状态 下，利用磨削磨具磨削至期望的厚度。该卡盘工作台的构造例如利用在内侧底面上呈同心 圆状具有多个吸引槽的框体而对板状的多孔部件进行支承。 在磨削加工后，使卡盘工作台的保持面与提供水和空气的混合流体(二流体)的流 体提供源连通，从保持面喷出混合流体而将残留在保持面与被加工物之间的真空吸附力排 除，使被加工物从保持面离开。并且，在使被加工物从保持面离开之后，也从保持面喷出混 合流体，使在磨削中被吸入到多孔部件内部的磨削屑从保持面喷出而去除。 但是，从保持面喷出的磨削屑根据使混合流体朝向多孔部件喷出的吸引槽而在保 持面上呈同心圆状的条纹图案被去除，因此保持面的吸引槽以外的部分会呈同心圆状的条 纹图案残留磨削屑。因此，例如如专利文献1所公开的去除工具和去除方法那样，有利用清 洗磨具对保持面进行清洗的发明。 专利文献1：日本特开2015-030081号公报 但是，当利用清洗磨具对保持面进行清洗时，存在如下的问题：连同保持面一起将 磨削屑削落，因此导致保持面的形状发生变化，使保持面的平坦度(保持面相对于磨削磨具 的磨削面的平行度)降低，无法将被加工物磨削成均匀的厚度。 因此，在具有对被加工物进行吸引保持的保持面的卡盘工作台中，存在如下的课 题：即使未利用清洗磨具对保持面进行清洗，也将保持面维持在未附着加工屑的干净的状 态，在磨削加工或研磨加工中能够使卡盘工作台所保持的被加工物形成为均匀的厚度。
技术实现要素：
本发明提供对半导体晶片等被加工物进行吸引保持的卡盘工作台。 为了解决上述课题的本发明是卡盘工作台，其具有对被加工物进行吸引保持的保 持面，其中，该卡盘工作台具有：多孔板，其具有该保持面；框体，其具有使该保持面露出而 对该多孔板进行收纳的凹部；槽，其形成于该框体的该凹部的底面上；以及提供路，其将该 槽与流体提供源连通，并且，该多孔板具有剖面为倒碗状的倒碗状凹部，该倒碗状凹部按照 当该多孔板被收纳于该凹部时与该槽对应的方式形成于该多孔板的与该保持面相反的相 反面上，使该槽与该流体提供源连通而被提供至该倒碗状凹部的流体从该倒碗状凹部呈放 射状朝向该保持面流动，并使流体从该保持面喷出。 优选本发明的卡盘工作台具有遮罩部，该遮罩部对所述倒碗状凹部的以最凹陷的 位置为中心的规定的范围进行遮罩。 具有对被加工物进行吸引保持的保持面的本发明的卡盘工作台具有：多孔板，其 3 CN 111599739 A 说　明　书 2/6 页 具有保持面；框体，其具有使保持面露出而对多孔板进行收纳的凹部；槽，其形成于框体的 凹部的底面上；以及提供路，其将槽与流体提供源连通，并且，多孔板具有剖面为倒碗状的 倒碗状凹部，该倒碗状凹部按照当多孔板被收纳于凹部时与槽对应的方式形成于多孔板的 与保持面相反的相反面上，因此对于在磨削加工中从保持面进入到多孔部件内的加工屑 等，例如在使被加工物从卡盘工作台脱离时，使槽与流体提供源连通从而提供至倒碗状凹 部的流体从倒碗状凹部呈放射状朝向保持面流动，从而能够从整个保持面喷出流体而使磨 削屑从整个保持面喷出而去除。 本发明的卡盘工作台具有遮罩部，该遮罩部对倒碗状凹部的以最凹陷的位置为中 心的规定的范围进行遮罩，从而能够防止从槽向倒碗状凹部喷出的流体仅从倒碗状凹部的 最凹陷的位置朝向保持面流动，能够使流体按照朝向整个保持面扩展的方式从倒碗状凹部 更高效地呈放射状流动而喷出。 附图说明 图1是示出磨削装置的一例的立体图。 图2的(A)是示出多孔板的保持面侧的立体图，图2的(B)是示出多孔板的与保持面 相反的相反面侧的立体图。 图3是示出多孔板和框体的立体图。 图4是示出多孔板和框体的剖视图。 图5是示出卡盘工作台的一例的立体图。 图6是对利用卡盘工作台吸引保持被加工物的状态进行说明的剖视图。 图7是对能够使被加工物从卡盘工作台的保持面脱离并且通过流体提供而使附着 于保持面上或进入到保持面中的磨削屑喷出而去除的状态进行说明的剖视图。 标号说明 W：被加工物；Wa：正面；Wb：背面；1：磨削装置；10：基座；11：柱；3：卡盘工作台；30： 多孔板；30a：保持面；306：倒碗状凹部；307：遮罩部；31：框体；310：凹部；310a：底面；310c： 槽；312：环状壁；313：螺栓插通孔；33：旋转单元；330：主轴；331：电动机；332：主动带轮； 333：环形带；334：从动带轮；36：工作台基台；39：罩；39a：波纹罩；38：厚度测量单元；5：磨削 进给单元；50：滚珠丝杠；51：导轨；52：电动机；53：升降板；7：磨削单元；70：主轴；71：壳体； 72：电动机；73：安装座；74：磨削磨轮；740：磨削磨具；75：支托；80：流体提供源；81：吸引源； 86：旋转接头；870：配管；871：电磁阀。