技术摘要：
本发明公开一种清洁装置和检测设备，其中，该清洁装置包括吹扫组件和吸气组件，所述吹扫组件用于向所述样品的待处理区域喷吹吹扫气体，所述吸气组件用于对吹扫过所述待处理区域的所述吹扫气体提供吸力。在使用时，吹扫组件和吸气组件可以同时开始工作，吹扫组件的出气  全部
背景技术：
光学检测具有高灵敏性、高精度以及非接触等特点，在半导体工艺检测等行业占 据着越来越重要的地位。具体来讲，光学检测是采用光源照射在光检样品(如晶圆)表面，并 通过工业相机拍摄光检样品的特征，以生成图像信息，然后将该图像信息传给图像处理系 统以实现光检样品特征的自动识别。 请参考图1，图1为现有技术中气体吹扫装置的一种
技术实现要素：
的结构示意图。 为了减少光检样品表面的微尘等异物可能造成的误检，如图1所示，在现有技术 中，一般采用气体吹扫装置来吹走异物，气体吹扫装置包括喷嘴01，喷嘴01能够喷出清扫气 体，以对光检样品02表面进行清洁处理。但是，异物在被吹走之后有可能会散落到光检样品 的其他区域，从而造成其他区域的误检，也就是说，现有技术并不能够很好地去除光检样品 02表面可能存在的异物。 因此，如何提供一种方案，以克服或者缓解上述缺陷，仍是本领域技术人员亟待解 决的技术问题。