技术摘要：
本发明提供一种探针驱动方法及装置，该驱动方法：使一探针机构的探针在一探针座上被以一固定件固设于一第一座架上的一微动机构的一联结件连动；该联结件被固设于该固定件的一第一簧片及一第二簧片一端所固设，并被一驱动机构所驱动；借此使高频率的检测作业可以被执行  全部
背景技术：
】 按，一般对例如LED发光二极管的电子元件进行测试，常使用探针接触电子元件的 正负极，以进行电性导通与否来判定该电子元件的搬送方向是否正确，或用以作电流导通 来进行该电子元件的例如光谱等的物理特性量测，此类测试基于效率的需求，常被要求以 高速的搬送配合高频率的往复探针接触来进行；先前技术在对探针的驱动上常采用使一杠 杆一端连动探针，该杠杆的另一端被枢设固定作为支点，并以电磁体驱动该杠杆朝一方向 位移，另配合一弹性件作反向回复弹回，如此来使往复的驱动被不断的进行，使探针不断地 作上、下往复接触或松离电子元件的电极，以达成测试的目地。 【
技术实现要素：
】 该先前技术虽为一般惯用的探针驱动手法，但由于单纯的电磁铁K31驱动杠杆的 方式，其反应的灵敏度仍不足以达成目前要求的高速、高频率操作，探求其因乃杠杆一端连 动探针，另一端被枢设作为支点，该杠杆一端枢设而造成的可旋摆的自由度使另一端承载 的探针重量及杠杆本身的重量变成是电磁铁K31驱动时的负荷，让电磁铁K31驱动上因负荷 较重而无法作出灵敏的反应，尤其在因应产品多元的属性下，探针的种类亦变得多种，在遇 到探针的体积及重量都较大时，电磁铁K31驱动时所承受的负荷更使探针无法作出灵敏的 反应，故在被要求往更高速、高频率操作时，维持该先前技术的驱动方法实欠缺可以提升高 速、高频率操作的空间。 爰是，本发明的目的，在于提供一种可以增加探针驱动的灵敏度的探针驱动方法。 本发明的另一目的，在于提供一种可以增加探针驱动的灵敏度的探针驱动装置 本发明的又一目的，在于提供一种使用如所述探针驱动方法的装置。 依据本发明目的的探针驱动方法，包括：使一探针机构的探针在一探针座上被以 一固定件固设于一第一座架上的一微动机构的一联结件连动；该联结件被固设于该固定件 的一第一簧片及一第二簧片一端所固设，并被一驱动机构所驱动。 依据本发明另一目的的探针驱动装置，包括：一座架，设有一第一座架及一第二座 架；一微动机构，设有一第一簧片及一第二簧片；该第一簧片一端的一第一固定部与该第二 簧片相对应一端的一第二固定部分别各固设于一固定件的上、下两端；该第一簧片另一端 的一第一微动部与该第二簧片另一端相对应的一第二微动部分别各固设于一联结件的上、 下两端；该微动机构以该固定件固设于该第一座架上；一驱动机构，设于该第二座架上，该 驱动机构设有一电磁铁，该电磁铁中设有一轴杆，该轴杆可受该电磁铁作用连动该微动机 构的该联结件；一探针机构，设有与该微动机构的该联结件连动的探针座，多个支的探针设 于该探针座。 4 CN 111579829 A 说　明　书 2/8 页 依据本发明又一目的的探针驱动装置，包括：用以执行如所述探针驱动方法的装 置。 本发明实施例的探针驱动方法及装置，由于该联结件被固设于该固定件的该第一 簧片及该第二簧片一端所固设，并以该联结件被该驱动机构所驱动，及使该探针机构的该 探针在该探针座上，被以该固定件固设于该第一座架上的该微动机构的该联结件连动；借 此该探针、探针座、及该联结件加于该第二簧片的重量的力矩被该第一簧片所形成拉持的 力矩所平衡，该驱动机构可在无须过度承担该探针、探针座、及该联结件重量下，仅借由些 微的施力即可驱动该联结件连动该探针座、探针上下位移，使高频率的检测作业可以被执 行。 【附图说明】 图1是该探针驱动装置第一实施例中该分选机的部分机构立体示意图。 图2是该探针驱动装置第一实施例中该探针驱动装置的立体示意图。 图3是该探针驱动装置第一实施例中该探针驱动装置一侧面的示意图。 图4是该探针驱动装置第一实施例中该探针驱动装置另一侧面的示意图。 图5是该探针驱动装置第一实施例中该微动机构一侧面的示意图。 图6是该探针驱动装置第一实施例中该微动机构、该第二座架与该第一座架的侧架间 组装的立体分解示意图。 图7是该探针驱动装置第一实施例中该微动机构的第一簧片与其他构件的立体分解示 意图。 图8是该探针驱动装置第一实施例中的驱动装置安装于该载盘下方的示意图。 图9是该探针驱动装置第二实施例中该探针驱动装置的立体示意图。 图10是该探针驱动装置第二实施例中该探针驱动装置一侧面的示意图。 图11是该探针驱动装置第二实施例中该探针驱动装置另一侧面的示意图。 【