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制造石墨烯结构和装置的方法


技术摘要:
本发明提供了用于生产具有1至100个石墨烯层的石墨烯层结构的方法,所述方法包括:将热阻等于或大于蓝宝石的热阻的基底设置在反应室中的加热的衬托器上,所述室具有复数个冷却的入口,所述复数个冷却的入口布置成使得在使用时入口跨基底分布并且相对基底具有恒定的间隔  全部
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